INTEC   05402
INSTITUTO DE DESARROLLO TECNOLOGICO PARA LA INDUSTRIA QUIMICA
Unidad Ejecutora - UE
congresos y reuniones científicas
Título:
Espectros FTIR de modos vibracionales en multicapas de silicio poroso nanoestructurado
Autor/es:
L. N. ACQUAROLI; L.C. LASAVE; R.R. KOROPECKI; R.D. ARCE; G. PRIANO; F. BATTAGLINI
Lugar:
Buenos Aires
Reunión:
Congreso; AFA-SUF 2008; 2008
Resumen:
En este trabajo se presentan resultados de espectrometr
´ýa de reflectancia FTIR a bajo ´angulo de multicapas
de silicio poroso nanoestructurado (SPN). Las multicapas
se disenaron para obtener una respuesta espectral
espec´ýfica en el rango de n´umeros de onda correspondientes
a modos vibracionales asociados a enlaces existentes
en el SPN. Las muestras fueron obtenidas por
anodizado electroqu´ýmico de obleas monocristalinas de
silicio de baja resistividad (1-4 m cm ) en una soluci´on
fluorada. La densidad de corriente se modific´o en forma
peri´odica para obtener un perfil de capas de diferentes
´ýndices de refracci´on pero igual espesor ´optico a fin de
conformar reflectores de Bragg distribuidos (DBR). Los
DBR se disenaron y prepararon de modo que resulte
una banda de reflectancia centrada en modos vibracionales
espec´ýficos. De esta forma se obtiene una l´ýnea de
base adecuada para el estudio de los mismos. Se estudiaron
por un lado multicapas de SPN reci´en preparado
y sin modificar, en las que se centraron los espectros de
los DBR en la regi´on de modos stetching de enlaces Si-
H. Por otro lado se estudiaron multicapas modificadas
mediante la incorporaci´on de aminosilanos a la superficie.
Introduciendo un defecto en el DBR se rompe la
simetr´ýa del mismo, lo que resulta en una microcavidad
´optica cuyo espectro incluye una resonancia en la banda
de reflexi´on. Se prepararon microcavidades centradas en
el rango IR, cuyos espectros se estudiaron. Se muestra
mediante simulaciones num´ericas que la intensidad de
campo se intensifica dentro de la cavidad para la energ´ýa
de la resonancia. Se muestra que estos dispositivos pueden
servir para estudiar espectros vibracionales, utilizando
espectrometr´ýa de ´angulo variable. Esto es as´ý ya
que, a diferencia de lo que ocurre con los modos vibracionales,
la frecuencia del modo de la cavidad depende
del ´angulo de incidencia. Para ´angulos espec´ýficos ambos
modos se acoplan, lo que permite obtener informaci´on
detallada.