INVESTIGADORES
GARCIA INZA Mariano Andres
congresos y reuniones científicas
Título:
Desarrollo de un Sistema para la Obtención Rápida de Curvas Capacidad-Tensión en Dispositivos MOS. Aplicación al Estudio de Dieléctricos de Alto K
Autor/es:
A. KASULIN,; L. SAMBUCO SALOMONE; S. CARBONETTO; M. GARCIA INZA; J. LIPOVETZKY; F. CAMPABADAL; E. REDÍN; A. FAIGÓN
Lugar:
San Justo, Pcia. de Buenos Aires
Reunión:
Congreso; Congreso de Microelectrónica Aplicada (uEA) 2010; 2010
Institución organizadora:
Universidad Nacional de La Matanza (UNLaM) - Universidad Tecnológica Nacional, Facultad Regional Haedo (UTN-FRH)
Resumen:
Este trabajo presenta el desarrollo de un sistema para la obtención rápida de curvas Capacidad-Tensión y los primeros resultados obtenidos al aplicarlo para el estudio de las características del HfO2 utilizado como aislante de compuerta.
