Estudio por espectroscopía de electrones secundarios de películas de silicio poroso nanoestructurado

G. D. RUANO; J FERRÓN; R. R. KOROPECKI

Bahia Blanca-Buenos Aires

Congreso; 3º Encuentro de Física y Química de Superficies; 2007

En este trabajo se presentan resultados preliminares de un estudio de la influencia de la escala de la estructura en la SEE inducida por bombardeo electrónico en distintas muestras de SP preparadas por anodizado electroquímico usando un electrolito fluorado. Se intenta establecer  además el efecto del grado de oxidación en la SEE. Los espectros se comparan con los obtenidos cuando se bombardea simultáneamente con un cañón de iones Ar+ a 5 keV para identificar cambios en tiempo