Mecanismos de producción de electrones secundarios en películas delgadas de AlF3 irradiadas con iones de baja energía

G. D. RUANO; R. VIDAL; R. BARAGIOLA; J. FERRÓN

La Plata (Buenos Aires)

Jornada; 4to Encuentro de Física y Química de Superficies (FyQS-IV); 2009

INIFTA

La emisión de electrones secundarios es uno de los efectos más importantes que se observan al irradiar un sólido con iones de baja energía. Los mecanismos de producción de estos electrones han sido ampliamente estudiados para el caso de metales pero todavía no se entienden de manera detallada en materiales aislantes. La necesidad de entender el comportamiento de aislantes bajo irradiación iónica y electrónica se ha incrementado tanto desde el punto de vista de la física básica como de las aplicaciones tecnológicas. El interés abarca áreas tan diversas como la biofísica (por ejemplo en el efecto de radiaciones ionizantes en tejidos biológicos), astrofísica (por ejemplo en la formación de moléculas complejas desde compuestos simples), microelectrónica (como en el caso de la litografía electrónica), entre otras. En litografía electrónica el interés se centra en resinas inorgánicas electrosensibles de haluros metálicos. Materiales como el AlF3  presentan radiólisis, vale decir, la desorción del flúor con la formación de una capa metálica, bajo irradiación electrónica.            En este trabajo presentamos resultados experimentales de emisión de electrones secundarios (SEE) inducida por iones en películas delgadas (5 nm) de AlF3 evaporadas sobre Cu(001). Las películas fueron caracterizadas usando espectroscopia de electrones Auger (AES) y espectroscopia de pérdida de energía electrónica (EELS). Se adquirieron espectros de energía de los electrones secundarios obtenidos al irradiar las películas con He+, Li+, Ne+ y Ar+ con energías entre 1 y 5 keV.            Utilizamos la técnica de análisis de factores (FA) para deconvolucionar los espectros de SEE. Observamos que, mientras que para Ar+ y He+ existen dos contribuciones al pico de SEE, con diferentes dependencias con la energía del proyectil, el pico generado por iones de Li+ no posee esta estructura. En este trabajo proponemos que el mecanismo de generación de los electrones más energéticos es el decaimiento de excitones generados en la colisión.