INVESTIGADORES
PASSEGGI Mario Cesar Guillermo
congresos y reuniones científicas
Título:
Poster: Oxidación de películas delgadas de titanio depositadas sobre un monocristal de cobre
Autor/es:
VAQUILA, I.; PASSEGGI (H), M.C.G.; FERRÓN, J.
Lugar:
San Carlos de Bariloche (Río Negro), 2-6 Octubre
Reunión:
Otro; AFA1995, 80a. Reunión de la Asociación Física Argentina; 1995
Institución organizadora:
Asociación Física Argentina
Resumen:
Estudiamos el crecimiento y oxidación de películas delgadas de titanio evaporadas sobre un monocristal de cobre a temperatura ambiente empleando espectroscopia de electrones Auger. Para la determinación del número de óxidos presentes empleamos el análisis de componentes principales. El crecimiento del titanio sobre el monocristal de cobre es capa a capa, lo que determinamos a través de los quiebres en un gráfico CuMNN vs. TiLMV. Encontramos que: (i) la cantidad de oxígeno incorporado es proporcional a la cantidad de titanio evaporado; (ii) la cinética de oxidación depende también del grosor de la película de titanio. Así para cantidades de titanio por debajo de 1 MC observamos la presencia de un único óxido, TiOx (x < 2), mientras que para mayores grosores, hasta 5 MC, observamos el secuencial crecimiento de dos tipos de óxidos, TiOx (x < 2) y TiO2. Expuso: PASSEGGI (h), M.C.G.
