Synthèse par pulvérisation cathodique et caractérisation des oxydes de LaCoO3 en film mince

M. ARAB POUR YAZDI; L. LIZARRAGA; P. BRIOIS; P. VERNOUX; A. BILLARD

Nantes

Conferencia; MATERIAUX 2010; 2010

Les revêtements de cobaltite de lanthane (LaCoO3) ont été synthétisés par co-pulvérisation cathodique magnétron de cibles de La et de Co en présence d?une atmosphère réactive argon-oxygène. La composition des films dépend de l?intensité dissipée sur chaque cible et du débit d?oxygène injecté. Les revêtements bruts d?élaboration présentant la composition visée sont amorphes et cristallisent sous la structure cubique du LaCoO3 après un recuit à 773 K pendant 2 heures. L?inconvénient d?un tel traitement thermique est la fissuration des films en raison des contraintes de dilatation thermique entre le film et le substrat. La mise en place d?un porte substrat chauffant (T  1273 K) a permis la synthèse de dépôts stable morphologiquement possédant la structure visée brute d?élaboration tout en conservant une activité catalytique pour l?oxydation du CO dès 220°C..