Diseño y Construcción de Porta-blancos Múltiple para un Sistema de Deposición por Láser Pulsado

M. I. OLIVA; C. I. ZANDALAZINI; J. C. FERRERO

Buenos Aires

Congreso; 93º Reunión de la Asociación de Física Argentina (AFA-SUF); 2008

Asociación de Física Argentina

Una de las técnicas de mayor relevancia para el crecimiento de películas delgadas es la de deposición por láser pulsado (PLD). Como ha sido ampliamente reportado, la calidad de las películas delgadas depende fuertemente de los parámetros de deposición [1-2]. El movimiento del blanco juega un papel esencial en la morfología del film, respecto de la cual las propiedades físicas de la película depositada tienen fuerte dependencia. El proceso de ablación láser va dañando la superficie del material blanco, lo que favorece la eyección de especies demasiado grandes (por la excesiva rugosidad) que al arribar sobre el substrato, lo dañan o generan un film muy rugoso. El movimiento del blanco reduce este daño superficial disminuyendo el número de pulsos en cada punto de incidencia. En el presente trabajo se desarrollo un porta-blancos múltiple que permite rotar el blanco durante la deposición, además del cambio de blanco para el crecimiento de películas multicapas, sin necesidad de abrir la cámara de ablación, condición que es indispensable para el crecimiento de las películas multicapas de buena calidad. El dispositivo esta compuesto por cinco porta-blancos desmontables, que son manipulados exteriormente mediante dos motores de corriente continua, uno para posicionar los blancos frente al porta-substrato y el otro es el responsable de la rotación axial de cada porta-blanco. Con éste diseño se consigue un costo total muy inferior al costo del los multi-blancos comerciales [3]. También se desarrollo un modulo controlador que permite seleccionar la velocidad y el sentido de giro de los blancos.El comportamiento del dispositivo fue chequeado por la deposición de una película tricapa de BaTiO3-BaFe12O19-BaTiO3 posteriormente analizada.