Películas delgadas, conductoras y transparentes, de óxido de zinc dopado con aluminio

TENTOR CARMODY, MATEO; BENVENUTO, ARIEL; SCHMIDT, JAVIER ALEJANDRO

Congreso; XXII Congreso Argentino de Fisicoquímica y Química Inorgánica; 2021

La combinación de una alta conductividad eléctrica con una altatransparencia óptica es difícil de encontrar en un material, pero resulta de mucha utilidaden dispositivos que requieran un contacto eléctrico que permita el paso de la luz.Algunos óxidos semiconductores dopados cumplen con estas características, por lo quehan sido muy estudiados.1) Tal es el caso del óxido de zinc dopado con aluminio(ZnO:Al), que puede ser preparado por distintos métodos. En este trabajo, estudiamosla deposición del ZnO:Al por pulverización catódica asistida por un campo magnético(magnetron sputtering) y analizamos la influencia de las condiciones de deposiciónsobre las propiedades del material resultante.Referencias1) Ma C., Lu X., Xu B., Zhao F., An X., Li B., Sun L., Jiang J., Chen Y., Chu J.,Journal of Alloys and Compounds, 2019, 774, 201-209.