Determinación del espesor de películas delgadas por diferentes métodos?

EDGAR VILLEGAS; LEANDRO ALDREDO RAMAJO; RODRIGO PARRA

San Martin

Encuentro; 6to Encuentro de Jóvenes Investigadores en Ciencia y Tecnología de Materiales; 2017

Sociedad Argentina de Materiales

Este trabajo tiene como objetivo mostrar la aplicación de diferentes técnicas (directas e indirectas) que se usan para medir el espesor de películas delgadas. Asimismo, muestra las dificultades que se presentan al hacer este tipo de medidas en sistemas de muy bajo espesor; en particular se trabajan las técnicas de perfilometría, espectrofotometría y elipsometría. Las muestras analizadas son películas delgadas de óxido de cinc, depositadas sobre sustratos de vidrio mediante la técnica de spray-pyrolysis. La técnica de perfilometría conduce a valores directos e inmediatos del espesor de las películas, con lo cual dicho valor es tomado como referencia frente a las otras técnicas utilizadas. La espectrofotometría y la elipsometría son técnicas ópticas, por lo tanto los resultados concernientes al espesor de las películas son obtenidos de manera indirecta usando ecuaciones que a partir de parámetros tales como indice de refracción y longitud de onda de la radiación incidente, se puede calcular el espesor. Se midieron espesores entre 150 y 300 nm, y diferencias menores a 10% y 20% entre las técnicas espectrofotometría y elipsometría, respectivamente, con respecto al valor obtenido mediante perfilometría.