Diseño de un sistema para generar y testear vórtices en el EUV

LEDESMA, S. A.; PABON, D. O.; G. F. QUINTEIRO; CAPELUTO, M. G.

La Plata

Conferencia; Reunion AFA; 2017

AFA

vórtice vórtice óptico ópticoes una unasingularidad singularidad singularidad en la cual cualla fase no esta definidadefinida definida .Los haces haces de LaguerreLaguerreLaguerre Gauss sonson soluciones soluciones de la ecuación ecuaciónecuación de ondas paraxial paraxial en coordenadas cilíndricas cilíndricas con una unasimple simple singularidad singularidad singularidad de fase, en la cualcual la fasefase cambia cambia cambiaen un múltiplo múltiplo entero entero de 2π.Un vórtice óptico concon cargacarga topológica ℓ acarrea acarrea momento angular angularangularorbital orbital(OAM) (OAM)ℓℏ,siendo siendo ℏ la constante constante de Planck Planckreducida reducida .Los haces de MathieuMathieu Mathieu son generalizaciones generalizaciones generalizacionesgeneralizacionesacoordenadas elípticas elípticas yexhiben múltiples múltiples vórtices dependiendodependiendo dependiendo dependiendode su elipticidad elipticidad elipticidadelipticidad .En contrastecontraste alos haces haces de LaguerreLaguerre Gauss, loslos haces haces de Mathieu Mathieu sonson no difractivos difractivos ,ofreciendo, ofreciendo, ofreciendo, por ejemplo, un atractivo atractivo atractivointeresante interesanteinteresante para litografía litografía litografía .En este trabajo trabajo presentamos presentamospresentamos una unaconfiguración para generar generar ydetectar detectar haces con conOAM OAMconcon posibles posibles aplicaciones aplicaciones aplicacionesaplicacionesen el ultravioleta ultravioleta ultravioleta extremo (EUV) (EUV).El dispositivo dispositivo dispositivo consiste consiste en una unamascara mascaramascara difractiva difractiva difractiva,donde se generagenera el haz con conmomento momentomomento momentoangular angular yel frente de onda de referencia, referencia, ambas representadas representadasrepresentadasen un modulador moduladormoduladormodulador espacial espacial de luz (SLM)(SLM) (SLM).Una de laslas mitades mitades deldel SLM se obtura cuando se quierequiere generar generar el haz yse destapadestapa destapa(generando(generando (generando el haz de referencia) referencia) cuando cuando se quiere quiere quiere testear testeartestear el haz .Se realizó realizó realizóun experimento de prueba de principios principios usando usando los parámetros parámetros típicos típicos de holografía en el EUV .Se presentan presentan simulaciones simulaciones simulaciones numéricas numéricas yresultados resultados experimentales experimentales experimentales experimentalespara un haz de tipo Laguerre Gauss con carga topológica ℓ =1ypara un haz de Mathieu con carga topológica ℓ= 2yelipticidad elipticidad q= 2.