INTECIN   20395
INSTITUTO DE TECNOLOGIAS Y CIENCIAS DE LA INGENIERIA "HILARIO FERNANDEZ LONG"
Unidad Ejecutora - UE
congresos y reuniones científicas
Título:
Fabricación y caracterización de películas delgadas de Ge-Sb-Te
Autor/es:
GARCIA, JOSÉ LUIS; BARROS, SANTIAGO; MARIA ANDREA UREÑA; FONTANA, M.; ARCONDO, B.
Lugar:
Tandil
Reunión:
Congreso; 99º Reunión de la Asociación Física Argentina - (AFA 2014); 2014
Resumen:
El sistema GeSbTe es, hoy día, ampliamente estudiado para su utilización en
el ámbito de las memorias no volátiles, tanto eléctrica como óptica. Su
principio de funcionamiento se basa en aprovechar los cambios en sus
propiedades físicas (índices de refracción o conductividad eléctrica) que
presentan al estar en estado amorfo o cristalino y la alta estabilidad que
presentan en ambos estados, además de la relativa facilidad con la que se logra
dicho cambio de fase cuando son preparadas en forma de película delgada.
En este trabajo, se presenta la fabricación de películas delgadas de este
sistema en las composiciones Ge13Sb5Te82, Ge1Sb4Te7,
Ge2Sb2Te5 y Ge1Sb4Te7
con el objetivo de estudiar su comportamiento eléctrico. Las películas se
obtuvieron por la técnica de ablación láser (PLD), empleando un laser Nd:YAG
laser (λ = 355 nm). y fueron caracterizadas estructuralmente por difracción de
rayos X. La dependencia con la temperatura (en el rango Temperatura ambiente ? 520
K) de la resistencia eléctrica de las películas fue medida empleando un horno
eléctrico de lámparas. Estos experimentos fueron realizados a una velocidad de
calentamiento de aproximadamente 2 K/m y permitieron analizar el proceso de
cristalización de las mismas. Durante la cristalización, la resistencia
eléctrica de las películas cae varios órdenes de magnitud en un rango estrecho
de temperaturas. Se determinaron las energías de activación para la conducción
eléctrica de los estados amorfo y cristalino, la temperatura de cristalización
y la evolución temporal de la fracción transformada. Los productos de
cristalización fueron determinados por difracción de rayos X. Los resultados
son comprados con los obtenidos por otros autores.