Películas delgadas sintetizadas por PLD (blancos en polvo compactado): particulado en función de la fluencia

CONDE GARRIDO, JUAN MANUEL; SILVEYRA, JOSEFINA MARÍA; CASTRO, JULIÁN

Buenos Aires

Congreso; Nanomercosur ed. 2022; 2022

La técnica de deposición de películas delgadas por ablación láser pulsada (PLD) ofrece una gran versatilidad experimental: conserva la estequiometría de compuestos complejos, permite controlar el espesor de la capa con buena precisión, y es “limpia”, ya que la fuente de energía se encuentra fuera de la cámara de ablación. Tiene como limitación depositar, como subproducto indeseable, particulados micrométricos en el sustrato, que quedan embebidos dentro de las películas y sobre su superficie. En trabajos previos, hemos demostrado que son varios los factores que influyen en el particulado presente en las películas sintetizadas por PLD, tales como la aleación del blanco, la distancia blanco sustrato y la técnica empleada para ablacionar (i.e. con incidencia unidireccional o bidireccional).En este trabajo se estudió la presencia de particulado superficial en función de la fluencia del láser para películas de composición GeSe3 con el objetivos de utilizarlas en sensores de gases ambientales