DISEÑO DE GEOMETRÍAS DE DETECCIÓN PARA GENERACIÓN DE SEÑALES ÓPTICAS DE REFERENCIA

BENDERSKY, ARIEL; PEREZ QUINTIAN, FERNANDO; REBOLLO, MARÍA A.

Merlo, San Luis, Argentina

Congreso; Reunión Anual de la AFA; 2006

AFA

La medida precisa del desplazamiento y la posición es imprescindible en las tecnologías implicadas en la automatización. Los sistema de detección absoluta de la posición suelen utilizar una señal de control, comúnmente denominada señal de referencia (en la jerga de la codificación) ó señal de alineamiento (en la jerga de la fotolitografía). Podemos distinguir tres etapas en la detección absoluta de la posición: la generación de la señal, la detección y finalmente el procesado de la señal. Los haces no difractivos (ndb’s) son buenos candidatos para indicar una posición absoluta de referencia, ya que tienen un perfil estable y estrecho. Sin embargo, la manera en que se los detecta puede desmejorar sus prestaciones, principalmente en cuanto a su ancho. En este trabajo se estudiaron distintos métodos de detección de haces no difractivos. Se calcularon geometrías de máscaras de detección que permiten detectar estos haces con una precisión similar a su ancho característico. Finalmente se comprobó experimentalmente su funcionamiento con una máscara impresa en película fotográfica y simulando la detectividad mediante el control por software de una cámara CCD