Caracterización estructural de recubrimientos Ti/TiN obtenidos con un arco catódico

J.P. QUINTANA; D.A. COLOMBO; L.S. VACA; D. VEGA; S. BRÜHL; A.B. MÁRQUEZ

Buenos Aires

Conferencia; Conferencia NANO 2016; 2016

Un gran número de investigaciones basadas entratamientos superficiales están siendo desarrolladas en el mundo buscandomejorar la respuesta tribológica de los aceros. Recubrimientos de TiN por arcocatódico son usados industrialmente con este fin utilizando temperaturas de aproximadamente500 °C, no pudiendo ser aplicados en varios aceros debido a que lostratamientos de endurecimiento previos limitan la temperatura a la que puedenser expuestos. La combinación de los arcos catódicos con implantación iónicapermite que los iones que se depositan para formar el film alcancen el sustratocon mucha mayor energía sin necesidad de calentar a altas temperaturas lossustratos. En este trabajo se presenta la optimización del crecimiento de filmsdelgados bicapas de Titanio/Nitruro de Titanio empleando arcos catódicos e implantacióniónica por inmersión en plasmas sobre sustratos de acero inoxidable 316Lnitrurado y fundición de hierro austemperada, y su caracterización estructural.Se caracterizó la morfología, composición y estructurade los recubrimientos empleando microscopia óptica, SEM con EDS y difracción de rayos X. Se determinó queel recubrimiento resultó compacto, nanoestructurado con crecimiento en formacolumnar con un tamaño de cristalita inferior a los 50nm. Se observó lapresencia de macrotensiones compresivas características del método empleado.