FABRICACIÓN Y CARACTERIZACIÓN DE MICRO Y NANOPOROS SOBRE UN SUSTRATO DE SILICIO POR MÉTODO ELECTROQUIMICO

C. OLMOS; G. ROSERO; M.DER; T. FERNANDEZ; I. SANTIZO; M.J. DIEGUEZ; F. SACCO; B .LERNER; M. S. PEREZ

Cordoba

Congreso; Congreso Internacional de Metalurgia y Materiales SAM-CONAMET 2016. Simposio Materiales y Tecnologías para la Industria Metalmecánica y Aeroespacial; 2016

En los últimos años ha salido al mercado el primer secuenciador de ADN basado en nanoporos(1), el cual cabe en la palma de una mano, tiene la capacidad de leer fragmentos de hasta 100 kb y no requiere amplificación por PCR, entre otras cualidades. Por su bajo costo, este dispositivo promete revolucionar el campo de la secuenciación de ADN y la medicina, y muestra la importancia de investigar en un área como la de los nanoporos y su aporte al campo de la nanociencia y la nanotecnología. En el presente trabajo se muestran resultados correspondientes al estudio del proceso de fabricación de micro y nanoporos de estado sólido, mediante la técnica de wet etching sobre obleas de silicio cristalin(2). Se realiza una caracterización exhaustiva del método, analizando el comportamiento del agente de ataque, y la acción de diferentes agentes de frenado bajo diferentes condiciones de temperatura (64, 84 ˚C) y voltaje (0.1, 0.5, 1 V). Se muestran mediciones para la evolución temporal de las corrientes registradas durante el proceso de formación de poros para distintas obleas. De esta manera, se reconocen distintas etapas en el comido y se determinan posibles parámetros y relaciones de utilidad para la detección del momento de apertura. También es estudio la respuesta del potencial aplicado durante el proceso de ataque químico, analizando el efecto de la magnitud del potencial aplicado sobre la velocidad de ataque, neutralización y diámetro de los poros obtenido durante el proceso de formación del poro.