INVESTIGADORES
LERNER Betiana
congresos y reuniones científicas
Título:
TÉCNICA DE PROCESAMIENTO POR PLASMA CVD, Y SU APLICACIÓN EN NANOTECNOLOGÍA.
Autor/es:
C. LASORSA; M.PEREZ; B. LERNER; I. TROPPER; R. VERSACI; A. LAMAGNA; A. BOSELLI
Lugar:
Buenos aires
Reunión:
Congreso; XI Encuentro de Superficies y Materiales Nanoestructurados.; 2011
Institución organizadora:
Comisión Nacional de Energía Atómica
Resumen:
Los recubrimientos superficiales, comprenden procesos físico-químicos que modifican las propiedades superficiales en el orden de micrones, ó décimas de milímetro, confiriéndole al elemento así tratado, propiedades específicas.Ciertos tipos de recubrimientos no admiten otra forma de elaboración que no sea por la técnica de plasma, por el grado de especificidad requerida, este tipo de recubrimientos, se realizan en reactores de plasma herméticos, con procesos a alto vacío, el control preciso de los reactivos de proceso permiten obtener recubrimientos de pureza y estructura perfecta dada su absoluta independencia de la contaminación ambiental, siendo estos requisitos indispensables en microelectrónica o nanotecnología, así como en otras áreas altamente especializadas
