TÉCNICA DE PROCESAMIENTO POR PLASMA CVD, Y SU APLICACIÓN EN NANOTECNOLOGÍA

C. LASORSA; M.PEREZ; B. LERNER; R. VERSACI; A. LAMAGNA; A. BOSELLI

BUENOS AIRES

Encuentro; XI ENCUENTRO CNEA SUPERFICIES Y MATERIALES NANOESTRUCTURADOS.; 2011

En el presente trabajo se muestran los resultados experimentales referidos a la fabricación de Nanotubos de Carbono(CNTs) mediante la técnica PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), en un reactor de tubo horizontal de pyrex, utilizando metano como gas precursor en forma aislada, y con el aporte de gases auxiliares como hidrógeno y argón, a presiones variables, y una descarga de R.F. de 1000w de potencia de salida actuando como medio ionizante. De esta manera, se logró la síntesis de CNTs sobre un sustrato de hierro, calefaccionado con una resistencia eléctrica interna a 800 ºC, el mismo se utilizo recubierto con nitrato férrico Fe(NO3)3, cumpliendo la función de catalizador y centro de nucleación.