INVESTIGADORES
LERNER Betiana
congresos y reuniones científicas
Título:
Fabricación de nanosensores integrando el proceso CMOS con Nanotubos de Carbono
Autor/es:
M.S. PEREZ; B. LERNER; I. TROPPER; P.D. PAREJA ; P.M. JULIAN; P.S. MANDOLESI; A. BOSELLI; A. LAMAGNA
Lugar:
Bariloche
Reunión:
Conferencia; Superficies y Materiales Nanoestructurados; 2010
Institución organizadora:
Instituto Balseiro CNEA
Resumen:
Este trabajo muestra la integración de unsensor basado en nanotubos de carbono utilizando latecnología CMOS. Un chip sensor (CS) fue diseñado yfabricado utilizando un proceso CMOS de 0,30 mm, dejandolibre una ventana en la capa de pasivación que permitió ladeposición de SWCNTs sobre los electrodos. Hemosinvestigado exitosamente con el CS el efecto de la humedady la temperatura sobre las propiedades de transporteeléctrico de los SWCNTs. La posibilidad de una integración agran escala de los SWCNTs con los procesos CMOS ofreceun nuevo camino en el diseño de sensores más eficiente, abajo costo y alta reproducibilidad en su fabricación
