Fabricación y caracterización de películas de vidrios calcogenuros con vistas a su aplicación en memorias no-volátiles

M. ERAZÚ; M. A.UREÑA; A. PIARRISTEGUY; J. A. ROCCA; A. PRADEL; M. FONTANA; B. ARCONDO

Merlo, San Luis

Congreso; 91ª Reunión Nacional de la Asociación Física Argentina; 2006

Asociación Física Argentina

<!-- /* Style Definitions */ p.MsoNormal, li.MsoNormal, div.MsoNormal {mso-style-parent:""; margin:0cm; margin-bottom:.0001pt; mso-pagination:widow-orphan; font-size:10.0pt; font-family:Arial; mso-fareast-font-family:"Times New Roman"; mso-bidi-font-family:"Times New Roman"; mso-ansi-language:ES-TRAD;} @page Section1 {size:612.0pt 792.0pt; margin:70.85pt 3.0cm 70.85pt 3.0cm; mso-header-margin:36.0pt; mso-footer-margin:36.0pt; mso-paper-source:0;} div.Section1 {page:Section1;} --> Los vidrios calcogenuros son materiales muy interesantes a raíz de su notable facilidad de amorfización, su capacidad de ser conformados como películas, sus excepcionales propiedades ópticas (transparencia en el infrarrojo, fotosensibilidad) y su elevada conductividad cuando contienen metales alcalinos o el ion Ag+. Pueden ser aplicados a la construcción de fibras ópticas, a grabaciones ópticas (por ejemplo CD), a memorias de cambio de fase y otros dispositivos.  El desarrollo de estos materiales en forma de película delgada es indispensable para integrarlos en dispositivos electrónicos. Un sistema particularmente estudiado es el Ge-Se. En trabajos recientes estos vidrios con el agregado de Ag han sido aplicados en forma de películas delgadas a la construcción de memorias no-volátiles. [1] En este trabajo, se presentan los primeros resultados obtenidos en vistas a la aplicación de estos vidrios, depositados como películas por ablación láser, en memorias no-volátiles. Vidrios de composiciones Agx(Ge20Se80)1-x y Agx(Ge25Se75)1-x con x=0, 0.07 y 0.20 fueron sintetizados en volumen y caracterizados mediante difracción de rayos X y microscopía electrónica de barrido. Películas delgadas de composiciones Ge20Se80  Ge25Se75 fueron fabricadas, mediante la técnica de ablación por láser pulsado, y caracterizadas usando difracción de rayos X de incidencia rasante, microscopía de fuerza atómica, microscopía electrónica y perfilometría. Las películas obtenidas resultaron amorfas y sus espesores oscilan entre 100 y 600 nm según los parámetros de deposición. Películas delgadas de Ag de distintos espesores fueron depositadas sobre las películas de Ge20Se80  Ge25Se75 y luego fotodifundidas en estos vidrios. El exceso de Ag no difundido fue retirado empleando una solución diluida de Fe(NO3)3. Se caracterizaron las películas resultantes y sus características comparadas con las de los vidrios masivos.