Desarrollo y caracterización de láminas delgadas con memoria de forma de Ni-Ti obtenidas por sputtering

BRUNO F. MALVASIO; LUCIO M. ISOLA; MA. FLORENCIA GIORDANA; JORGE MALARRÍA

San Martín, Provincia de Buenos Aires

Encuentro; 6to Encuentro de Jóvenes Investigadores en Ciencia y Tecnología de Materiales; 2017

Asociación Argentina de Materiales (SAM)

Se fabricaron láminas delgadas de NiTi ricas en Ti mediante la técnica de magnetrón sputtering, utilizando un blanco de NiTi equiatómico y otro de Ti puro. Se determinó la composición resultante de Ni-53,8at%Ti por EDS-SEM.Las láminas obtenidas fueron tratadas térmicamente a 500, 600, 800 y 1000°C por 1 hora en atmósfera controlada para lograr su cristalización y estudiar su efecto en la transformación martensítica.Se observaron las fases formadas por difracción de rayos X. En todas las muestras se encontró la formación del precipitado Ti4Ni2O.Se determinaron las temperaturas de transformación martensítica a partir de mediciones de resistividad por cuatro puntas. Se encontró una fuerte dependencia de las temperaturas de transformación con las temperaturas de los tratamientos térmicos realizados.Se observaron los precipitados por TEM. En las muestras tratadas a 500°C y 600°C se observaron precipitados de 10-30 nm, mientras que, en las muestras de 800°C y 1000°C, se observaron precipitados de 50-80 nm. El corrimiento de la M s hacia temperaturas menores es atribuido al campo de tensiones generado por lo precipitados más pequeños, presentes en las muestras tratadas a menor temperatura.