Estudio del factor de calidad en micro-osciladores de silicio

SOSA FLORES C; DOLZ M; NAZZARRO M

Villa Carlos Paz

Congreso; 97 Reunión Nacional de Física de la Asociación Física Argentina; 2012

Asociación Física Argentina (AFA)

El avance observado en las dos últimas décadas en la ciencia de los materiales, particularmente en las llamadas ?microtecnologías?, ha dado lugar al advenimiento de peque?nos dispositivos llamados MicroElectroMechanica Systems (MEMS) con importantes aplicaciones. Existe una gran variedad de MEMS, en este trabajo nos referiremos particularmente a actuadores electrostáticos. La sensibilidad y resolución de la mayoría de los sensores resonantes son características vinculadas fuertemente con el factor de calidad Q del sistema de vibración mecánica de los dispositivos. Para lograr una alta sensibilidad y alta resolución, es esencial reducir el efecto de amortiguación de las estructuras para obtener un Q alto. Existen varios mecanismos de amortiguamiento que contribuyen a la disipación de la energía en un oscilador mecánico. En este trabajo se presentan algunos resultados preliminares obtenidos durante el estudio experimental del factor de calidad de los micro-osciladores utilizados (diseñados en el Laboratorio de Bajas Temperaturas del Centro Atómico Bariloche). Estos estudios se realizan con el objetivo de contribuir a comprender el comportamiento de los micro-osciladores en función de la presión.