Medición de la EEDF en el brillo negativo en una descarga pulsada de nitrógeno

ISOLA, LUCIO M.; GOMÉZ, BERNARDO J.; MARENZANA, ALDO

Rosario

Congreso; 94º Reunión Nacional de Física Argentina; 2009

Asocisición de Física Argentina

<!-- @page { margin: 0.79in } P { margin-bottom: 0.08in } -->Las descargas pulsadas en atmósfera de nitrógeno son extensamente estudiadas para comprender los mecanismos presentes en diferentes procesos como sputtering reactivo, nitruración iónica, química atmosférica, problemas ambientales, etc. En algunos de estos procesos las muestras son colocadas en el cátodo por lo cual el estudio de la zona de la descarga mas cercana a él, denominado brillo negativo, cobra vital importancia. La sonda Langmuir es uno de los métodos de caracterización más utilizados en el estudio del plasma, con el cual se puede obtener parámetros importantes como la temperatura electrónica efectiva, la densidad electrónica, as´i como también la función de distribución de energía de los electrones (EEDF). En este trabajo se desarrolló un dispositivo de medición automatizado para la obtención de la EEDF con una sonda Langmuir, sincronizado con el pulsado de la descarga. Con el cual se estudió el alejamiento de la EEDF de una clásica distribución de Maxwell, para una descarga generada con una tensión de 630 V y una frecuencia de 200 Hz con un 70 % de ciclo activo, en un rango de presiones de 2-4 Torr.