Sensores magneticos de efecto Hall planar de alta sensibilidad

M. BRODIANO; M. ALBERICI; A. LOPEZ PEDROSO ; P. GRANELL; L.B. STEREN

Santa Fe

Conferencia; Reunion anual de la Asociacion Argentina de Fisica; 2019

Entre los sensores magnetorresistivos, los sensores a efecto Hall Planar (HP) son de gran interes debido a suexcelente resolucion, su alta relacion se~nal/ruido y su respuesta lineal a campos bajos. Por estas propiedades sonampliamente utilizados en aplicaciones de biosensado, entre otras. Los sensores HP estan basados en el efectode magnetorresistencia anisotropica (AMR) que se observa en materiales ferromagneticos. La respuesta de lossensores usualmente esta condicionada por el sustrato utilizado en la fabricacion, as como por la geometra o formadel sensor [1-2-3]. En este trabajo presentamos resultados sobre sensores HP de Permalloy (NiFe), fabricados sobrediferentes sustratos: silicio, vidrio y PET exible. Estudiamos el transporte electrico en los sensores, analizandola sensibilidad, el rango lineal de operacion y la relacion de ruido, poniendo atencion en la dependencia de larespuesta de los sensores con su forma y el tipo de sustrato utilizado.[1] D. Damsgaard, S. C. Freitas, P. P. Freitas, M. F. Hansen, J. Appl. Phys. 103, 07A302 (2008)[2] A. Henriksen, G. Rizzi, M. Hansen, J. Appl. Phys. 118, 103901 (2015)[3] P.Granell, G.Wang,G.S. Ca~non Bermudez, T. Kosub, F. Golmar, L. Steren, J. Fassbender and D. Makarov;Flexible Electronics (2019) 3:3