Diseño y Construcción de Porta-blancos Múltiple para un Sistema de Deposición por Láser Pulsado

M. I. OLIVA; C. I. ZANDALAZINI; J. C. FERRERO

Anales AFA

Asociación Física Argentina

Lugar: Tandil; Año: 2008 vol. 20 p. 200 - 204

0327-358X

Se desarrollo un porta-blancos múltiple que permite rotar el blanco durante la deposición, además del cambio de blanco para el crecimiento de películas multicapas, sin necesidad de abrir la cámara de deposición, condición que es indispensable para el crecimiento de las películas multicapas de buena calidad. El dispositivo está compuesto por cinco porta-blancos desmontables, que son manipulados exteriormente mediante dos motores de corriente continua, uno para posicionar los blancos frente al porta-substrato y el otro es el responsable de la rotación axial de cada porta-blanco. Con éste diseño se consigue un costo total muy inferior al costo del los multi-blancos comerciales. También se desarrollo un modulo controlador que permite seleccionar la velocidad y el sentido de giro de los blancos. El comportamiento del dispositivo fue chequeado por la deposición de una película tricapa de BaFe12O19-BaTiO3-BaFe12O19 sobre zafiro. El depósito conseguido fue homogéneo, logrando un film con muy escasa rugosidad superficial, indicando así las ventajas del movimiento del blanco.