Estudio de concentraciones en muestras epitaxiales de AlxGa(1-x)As

M. GONZÁLEZ; G. ROZAS; B. PENTKE; H. PASTORIZA; A. BRUCHHAUSEN; G. ZAMPIERI; L. SALAZAR ALARCÓN; A. BARUJ

Santa Fe

Conferencia; 104a Reunión Nacional de la Asociación Física Argentina; 2019

Asociación Física Argentina

(Charla M. González) El crecimiento de heteroestructuras semiconductoras epitaxiales por MBE (Molecular Beam Epitaxy ) produce muestras de una excelente calidad cristalográfica y con interfaces cuasiperfectas. En el caso de materiales semiconductores III-V, se pueden crecer capas de materiales de distinta composición y, por lo tanto, distintas propiedades ópticas y electrónicas. En particular esto permite hacer ingenierı́a de las bandas electrónicas modulando espacialmente el gap semiconductor. Esta es la base del desarrollo de un amplio rango de muestras y dispositivos tales como láseres de cascada cuántica, MEMs, detectores de infrarrojo, reflectores de Bragg, Gases bidimensionales de electrones, etc. Muchas de estas muestras están compuestas por decenas o cientos de capas. El control del espesor y la composición de cada una de estas capas es de vital importancia para lograr muestras que tengan las propiedades deseadas.La composición de una capa se controla variando los flujos atómicos provenientes celdas que contienen los materiales a depositar. Esto se logra ajustando la temperatura de las celdas y midiendo la presión aparente utilizando un manómetro de ionización colocado en la posición de la muestra. Para obtener la composición deseada, estos flujos tienen que ser calibrados. En este trabajo presentaremos los resultados del estudio de composición en una serie de muestras de Alx Ga(1−x) As usando distintas técnicas de caracterización disponibles en el Centro Atómico Bariloche. Las técnicas utilizadas incluyen: Difracción de Rayos X (DR), Espectroscopı́a de Rayos X por Energı́a Dispersiva (EDS), Espectroscopia de fotoelectrones emitidos por Rayos X (XPS), Fotoluminiscencia (PL), Elipsometrı́a y Espectroscopia Raman. El objetivo es hacer un anlásis conjunto de los datos obtenidos utlizando las distintas técnicas ası́ como también determinar cuáles son las técnicas más adecuadas y convenientes para utilizar en futuras muestras.En conjunto con estos resultados presentaremos los distintos poryectos en los cuales estamos trabajando y el grado de avance de los mismos.