Plataforma microcalefactora de doble propósito construidos para sensores de gases MEMS

C. L ARRIETA; M. F. BIANCHETTI; N. E. WALSÖE DE RECA; M. P. POIASINA; G. A MERLETTI

Villa Martelli

Jornada; 1as JORNADAS UNIDEF; 2018

UNIDEF

(*)En el siguiente trabajo se presentará la labor realizada en relación al desarrollo de sensores de gases MEMS, con foco sobre los procesos de micro fabricación de su soporte microcalefactor, ideas básicas de su diseño y electrónica de control, en el marco de actividades desarrolladas en colaboración, entre la Div. Microelectrónica de GETEC (Gerencia de Tecnología) y DEINSO (Departamento de investigaciones en sólidos) de GECIEN (Gerencia de Ciencias) y el Depto de Nano y Micro tecnología de CNEA. El soporte micro calefactor es del tipo MEMS, objeto de la presentación, permite controlar la temperatura de una película (film sensible) desarrollada por DEINSO en base a SnO 2 , puro y dopado. Este film se dispone sobre el micro calefactor, a efectos de calefaccionarlo, siendo sensible a diversas especies gaseosas y comportándose como una resistencia eléctrica que varía con la concentración de los gases presentes en el ambiente en el que se instala. La temperatura de operación (TOP) del sensor construido con técnicas tradicionales es de 350o-450oC, en tanto que su TOP se reduce a 180oC-200oC con los filmes desarrollados por el DEINSO. Las plataformas micro calefactoras desarrolladas permiten controlar la TOP de los filmes sensibles, con una modalidad de operación conmutada y novedosa que ha permitido obtener la patente P-070105987 en Diciembre del año 2013. También se presentarán las primeras pruebas en la determinación experimental de la distribución espacial de la temperatura en la zona sensible medida con una técnica micro - termográfica en el laboratorio de CITEDEF LABIT (GETEC).(*) por error, no se incluyeron en el resumen del libro, los autores: M. P. Poiasina y M. F. Bianchetti.