Sensores de gases construidos con materiales nanocristalinos y plataforma microcalefactora de doble propósito

C. A. GILLIARI; L. T. ALANIZ; H. A. LACOMI; C. L. ARRIETA; M. F. BIANCHETTI; N. E. WALSÖE DE RECA

San Justo, Pcia. de Buenos Aires

Congreso; VI Contreso de Microelectrónica Aplicada; 2015

Universidad Nacional de La Matanza - Dto. de Ing. e Inv. Tecnológicas

El SnO2 , puro y dopado, ha sido utilizado desde hace algunas décadas para fabricar sensores de gases de tipo resistivo. El tema se ha retomado en los últimos años porque el mismo material semiconductor, puro o dopado pero nanocristalino, ha sido empleado para construir sensores con ventajas notables. Por ej. la temperatura de operación (Top) del dispositivo construido con el nanosemiconductor desciende de (350-450)ºC a (180-200)ºC respecto del dispositivo construido con el mismo material policristalino y convencional y la sensibilidad del segundo aumenta de 30-37% respecto del primero. En este trabajo se sintetiza el SnO2 con dos técnicas: modificadas: una de sol-gel y la otra de oxidación reactiva y se comparan los resultados de ambas técnicas. Las materiales se caracterizan con técnicas de rayos X, Microscopías Electrónicas de Transmisión y de Barrido: TEM (HRTEM) y SEM, técnicas de absorción BET, etc. Un sistema eléctrico de conmutación ya patentado por los autores permite medir alternativamente la variación de la resistividad del sensor (proporcional a la concentración del gas absorbido) y la Top del dispositivo con un ahorro de energía considerable.