Optimización del Análisis de Perfiles de Profundidad Continuos por Reflexión Total de Rayos X

PÉREZ R.D.; SÁNCHEZ H.J.; RUBIO M.

Huerta Grande

Congreso; VI Seminario Latinoamericano de Análisis por Técnicas de Rayos X - SARX98; 1998

Una muestra de perfil de profundidad arbitrario comprende todas aquellas muestras donde la con- centración elemental tiene una variación con la profundidad, dentro de las cuales se encuentran los medios estratificados más generales. Las muestras de mayor complejidad son aquellas que poseen una variación continua de la concentración elemental con la profundidad. En estas muestras el cálculo de la propagación de radiación a ángulos rasantes no puede efectuarse analíticamente, por lo que usualmente se modela a la muestra con un medio estratificado de capas superficiales del- gadas. La concentración elemental de cada capa superficial es el promedio de los valores que toma la concentración elemental real dentro de la misma. En este tipo de estudios puede llegar a ser necesario un gran número de capas superficiales para poder representar adecuadamente a la mues- tra, de modo que un método de cálculo eficiente es requerido. La optimización del análisis de estos perfiles se puede conseguir aplicando un formalismo matricial alternativo presentado en un trabajo anterior, que ha sido desarrollado para evaluar eficientemente la propagación a ángulos rasantes de la radiación en medios estratificados. Los resultados obtenidos son aplicados al estudio de la oxi- dación superficial de superficies metálicas y a la medición de la rugosidad de muestras parcialmente pulidas utilizando la técnica GEXRF.