Caracterización derecubrimientos de titanio producidos por la técnica MePIIID utilizando un arco catódico con filtro magnético

M. FAZIO; L. FRANCO ARIAS; A. KLEIMAN; D. VEGA; A. MARQUEZ

Iguazú

Congreso; 13er Congreso Internacional en Ciencia y Tecnología de Metalurgia y Materiales (SAM/CONAMET 2013); 2013

Se crecieron recubrimientos de titanio sobre silicio y acero mediante una descarga arco polarizando las muestras con pulsos de varios kilovolts para aplicar la técnica de deposición e implantación iónica por inmersión en un plasma metálico (MePIIID). Se estudiaron los recubrimientos utilizando difracción de rayos X y microscopía de fuerza atómica. La estructura cristalina de los recubrimientos es consistente con la red hcp de titanio, con una orientación preferencial en la dirección (100). En los recubrimientos sin implantación crecidos en dos descargas se observa la presencia de dos parámetros de red c distintos. Al aplicar la técnica MePIIID la deformación de los picos de difracción, y la disminución en el ancho de las columnas indican notorios cambios estructurales asociados a la disminución del tamaño de cristalita. Se estimó el tamaño de cristalita en ~130 nm sin implantación y en ~10 nm con implantación.