Optimización de una descarga arco para la obtención de films de TiO2

H. DELLA TORRE; D. GRONDONA; A. KLEIMAN; A. MÁRQUEZ; D. G. LAMAS

Bahia Blanca

Congreso; 89ª Reunión de la Asociación de Física Argentina; 2004

El objetivo de este trabajo fue optimizar el diseño y operación de un equipo de descarga arco a baja presión para la producción de películas de dióxido de titanio. Se empleó una descarga arco continua de 100 A, realizada entre un cátodo de titanio y la cámara de vacío que actúa como ánodo. El sustrato se colocó en una subcámara que posee un sistema de evacuación independiente de la cámara principal de descarga, y que es conectada a la misma a través de un orificio. De esta forma se hizo circular O2 sobre el sustrato, manteniendo una presión diferencial más elevada en la subcámara respecto de la cámara principal. Se realizaron series de recubrimientos sobre sustratos de diversos materiales variando la posición del sustrato y el caudal de entrada de oxígeno. Las muestras se analizaron por difracción de rayos X (XRD). El TiO2 se presentó en fase amorfa. Luego de un tratamiento térmico se observaron las fases cristalinas anatase y rutile. Los recubrimientos con mayor proporción de TiO2 se obtuvieron sobre los sustratos ubicados mas cerca de la cámara principal (y del cátodo) y trabajando con flujos de oxígeno de aproximadamente 20 cm3/min.