Medicion de la EEDF en el brillo negativo en una descarga pulsada de nitr´ogeno

ISOLA, L M; GOMEZ, B J; MARENZANA, A

Rosario

Congreso; Reunion Nacional de Fısica de la Asociacion Fısica Argentina; 2009

AFA

Las descargas pulsadas en atm´osfera de nitr´ogeno son extensamente estudiadas para comprender los mecanismos presentes en diferentes procesos como sputtering reactivo, nitruraci´on i´onica, qu´ımica atmosf´erica, problemas ambientales, etc. En algunos de estos procesos las muestras son colocadas en el c´atodo por lo cual el estudio de la zona de la descarga mas cercana a ´el, denominado brillo negativo, cobra vital importancia. La sonda Langmuir es uno de los m´etodos de caracterizaci´on m´as utilizados en el estudio del plasma, con el cual se puede obtener par´ametros importantes como la temperatura electr´onica efectiva, la densidad electr´onica, as´ı como tambi´en la funci´on de distribuci´on de energ´ıa de los electrones (EEDF). En este trabajo se desarroll´o un dispositivo de medici´on automatizado para la obtenci´on de la EEDF con una sonda Langmuir, sincronizado con el pulsado de la descarga. Con el cual se estudi´o el alejamiento de la EEDF de una cl´asica distribuci´on de Maxwell, para una descarga generada con una tensi´on de 630 V y una frecuencia de 200 Hz con un 70 % de ciclo activo, en un rango de presiones de 2 − 4 Torr.