INVESTIGADORES
GOMEZ Bernardo Jose Armando
congresos y reuniones científicas
Título:
Desarrollo de películas delgadas de nitruro de aluminio mediante sputter magnetron reactivo y estudio de sus propiedades
Autor/es:
BÜRGI, J.M.; GARCÍA MOLLEJA, J.; CRAIEVICH, A.F.; NEUENSCHWANDER R.; DJOUADI, M.A.; JOUAN, P.-Y; GÓMEZ, B.J.; FEUGEAS, J.N.
Lugar:
Rio de Janeiro
Reunión:
Simposio; Revista Matéria Simposio Internacional; 2010
Resumen:
En este trabajo se presentan los resultados obtenidos al caraterizar films de nitruro de Alumnio, desarrollados por medio de la tecnica de magnetron sputtering.
