INVESTIGADORES
ALDABE Sara Alfonsina
congresos y reuniones científicas
Título:
Efecto de la presión parcial de oxígeno sobre la estructura de filmes de óxido de titanio obtenidos por deposición lónica
Autor/es:
MC MARCHI; SARA ALDABE BILMES; F. ALVAREZ
Lugar:
Termas de Río Hondo, Santiago del Estero
Reunión:
Congreso; XIV Congreso Argentino de Fisicoquímica y Química Inorgánica,; 2005
Institución organizadora:
AAIFQ
Resumen:
Se sintetizaron películas delgadas de óxido de titanio por deposición asistida por haces iónicos (Ion Beam Assisted Deposition - IBAO), usando un haz de iones Ar+ y un blanco de titanio metálico. Las principales variables del proceso son la energía y la densidad de corriente del haz iónico, la presión de gas en la cámara y la temperatura del sustrato. En este trabajo se presentan las propiedades estructurales y morfológicas de estos films en relación a las condiciones de deposición. Específicamente, se buscó establecer la relación entre las propiedades finales del film y la presión parcial de oxígeno presente durante el proceso de preparación.
