Caracterización de micro-magnetómetros de gradiente de campo

S. D. CALDERÓN RIVERO; M. I. DOLZ; H. PASTORIZA; F. ROMÁ

Tandil

Congreso; POSTER en Reunión Nacional de la Asociación Física Argentina; 2014

Los sistemas micro-electro-mecánicos o MEMS (Micro Electro Mechanical Systems), son dispositivos que permiten llevar a cabo mediciones de sistemas de tamaño microscópico. La ventaja de utilizarlos para construir sensores es que son altamente sensibles, tienen un tiempo de respuesta pequeño, pueden producirse en grandes cantidades a muy bajo costo, son pequeños y livianos, consumen poca energía y poseen unaalta funcionalidad. En este trabajo se caracterizó el funcionamiento de un micro-magnetómetro de gradiente de campo AC fabricados en SOI (Silicon-on-Insulator), con los cuales es posible medir muestras de hasta 200 micrómetros de diámetro. Se realizaron mediciones experimentales ysimulaciones numéricas y se analizó el desplazamiento de la paleta móvil, respecto a la parte fija del comb-drive, en función de la tensión DC aplicada. La detección experimental se realizó mediante análisis de imágenes (correlación) buscando un punto de referencia fijo y uno móvil en cada una de los frame adquiridos.