Sensor de gas adsorbido utilizando un micro-oscilador mecánico de silicio

C. SOSA FLORES; V. A. YELPO; M. I. DOLZ; M. S. NAZZARRO

San Luis

Jornada; Poster en JAIFI - Jornada Anual de Investigación del Departamento de Física; 2011

Departamento de Física, Facultad de Ciencias Físico-Matemáticas y Naturales, UNSL

En este trabajo se presentan los resultados obtenidos en la caracterización de micro-osciladores mecánico de silicio. En estas micro-electro-máquinas (MEMS) pueden inducirse oscilaciones mediante una señal eléctrica externa. En una primera etapa se diseñó la cámara que alberga el micro-oscilador y que permite mantener las condiciones adecuada de vacío. En una segunda etapa se diseñó el sistema de adquisición de datos y se estudiaron los modos de oscilación y los cambios en la frecuencia de resonancia en función de la presión y de la temperatura. La caracterización de estos dispositivos tiene como objetivo final implementar un sensor que permita medir la adsorción de gases sobre distintas muestras.