Effects of conductive and oxide surface layers in electron probe microanalysis

SILVINA LIMANDRI; JORGE TRINCAVELLI

Rosario, Argentina

Congreso; 10th Inter-American Congress of Electron Microscopy (CIASEM 2009); 2009

Comité Interamericano de Sociedades de Microscopía Electrónica

En microscopía electrónica de barrido es usual realizar un recubrimiento metálico sobre muestras no conductoras para disminuir daños por calentamiento y acumulación de carga eléctrica. El efecto de atenuación del haz de electrones incidente y de los fotones característicos emitidos hacia el detector que tiene lugar en la capa conductora a menudo no es tenido en cuenta en microanálisis con sonda de electrones, o bien, requiere del conocimiento del espesor del metalizado, lo cual no siempre es posible. Sin embargo, puede llegar a ser muy importante para bajas energías de excitación, condición necesaria en numerosas situaciones experimentales que requieren estudiar pequeños volúmenes de material.En este trabajo se estudia mediante simulaciones Monte Carlo la influencia del recubrimiento conductor y de una capa de óxido que suele formarse espontáneamente en especies metálicas. Para ello, se consideran los picos de rayos x característicos generados en dichas capas como indicadores de sus espesores, desconocidos a priori. Se propone una expresión para tener en cuenta los efectos de atenuación mencionados y se incluye en un algoritmo de cuantificación sin estándares.