Determinación experimental absoluta de la sección eficaz de ionización simple y múltiple de Si por impacto de electrones utilizando una muestra gruesa

PABLO DANIEL PÉREZ; ANDRÉS SEPÚLVEDA; GUSTAVO CASTELLANO; JORGE TRINCAVELLI

Carlos Paz

Congreso; XIV Seminario Latinoamericano de Análisis por Técnicas de Rayos X (SARX 2014); 2014

P { margin-bottom: 0.1in; direction: ltr; color: rgb(0, 0, 0); line-height: 120%; widows: 2; orphans: 2; }P.western { font-family: "Times New Roman",serif; font-size: 10pt; }P.cjk { font-family: "Times New Roman",serif; font-size: 10pt; }P.ctl { font-family: "Times New Roman",serif; font-size: 10pt; } La determinación experimental de la sección eficaz de ionización de una capa interna de un elemento no es trivial, pues incluye mediciones de alta complejidad y un análisis exhaustivo de los procesos involucrados que permitan describir correctamente el espectro de rayos x emitido. De forma general se puede decir que existen dos procedimientos posibles para su medición: utilizando una muestra delgada o utilizando una muestra gruesa. El primer caso presenta varias dificultades, por lo que es necesario contar con métodos alternativos que permitan obtener secciones eficaces a partir de mediciones con muestras gruesas. Con este objetivo An y Hou propusieron una solución al problema inverso utilizando el método de regularización de Tikhonov. En este trabajo se propone un método más simple para obtener secciones eficaces de ionización simple y se analiza si es necesario realizar la regularización de Tikhonov. Además, una vez corroborada la eficacia del método para el caso de secciones eficaces de ionización simple se emplea para obtener secciones eficaces de ionización doble y triple en Si de forma absoluta. La baja probabilidad de emisión proveniente de una ionización múltiple imposibilita la utilización de muestras delgadas, por lo que la metodología seguida representa un avance importante en la determinación de la sección eficaz correspondiente. Los espectros de rayos x inducidos por impacto de electrones en una muestra gruesa de Si fueron medidos utilizando un detector dispersivo en longitud de onda (WDS). Estos espectros fueron procesados mediante un software especial que contempla varios fenómenos físicos que permiten deconvolucionar adecuadamente los picos que lo componen. Cabe señalar que la eficiencia del detector utilizado se debe determinar con precisión; la metodología empleada en este trabajo está descripta en otra presentación en este congreso.