Efecto de memoria de forma en láminas delgadas de Cu-Al-Ni crecidas por pulverización catódica a diferentes temperaturas.

M. MORÁN; A.M. CONDÓ; N. HABERKORN

Congreso; Congreso Internacional de Metalurgia y Materiales (SAM-CONAMET 2016); 2016

La transformación martensítica (TM), en ciertas aleaciones, da lugar al efecto de memoria de forma (EMF). El EMF es la capacidad del material de recobrar su forma inicial cuando es sometido a un tratamiento térmico adecuado. El diseño de microsistemas basados en EMF requiere conocer la influencia de la microestructura y de la dimensionalidad en la TM. Se crecieron láminas delgadas de Cu-Al-Ni por pulverización catódica sobre sustratos de Al2O3 (001) a diferentes temperaturas de sustrato (TS) para evaluar el efecto del tamaño de grano y de la dimensionalidad de las láminas sobre la TM. Las láminas delgadas se fabricaron creciendo una lámina de sacrificio de Fe a TS = 450 °C, y sobre ella la lámina delgada de Cu-Al-Ni. Se utilizó un blanco de Cu-27,35 at.% Al-5,45 at.% Ni con una temperatura nominal de inicio de transformación (MS) de -23 °C a TS de 230 °C, 260 °C, 290 °C y 320 °C durante 60 minutos. Las láminas delgadas fueron despegadas del sustrato mediante disolución anódica del Fe a -50 mV vs (Ag/AgCl sat.) en H3BO3 0,5 M. Por difracción de rayos X se detectó fase β y fase γ en todas las láminas delgadas; por microscopía electrónica de transmisión se observó que el tamaño medio de grano aumenta desde 105 nm hasta 165 nm cuando la TS se incrementa desde 230 °C a 320 °C y por mediciones de resistividad en función de temperatura se halló que todas las láminas delgadas presentan TM y que la MS y la histéresis aumentan al incrementar TS.