Micromaquinado con láser de Nd:YAG

M. KOVALSKY; D.KRYGIER; A.TOURON; A. HNILO

Congreso; 95 reunion de la Asociacion Fisica Argentina; 2010

Asociacion Fisica Argentina

En este trabajo se presentan los avances obtenidos en el campo del micromaquinado con pulsos de nanosegundos provenientes de un láser de Nd: YAG con Q-switch construido en el CEILAP a partir de un cabezal de bombeo  (RBA G20– 1C2, Northrop Grumman) que contiene la barra de Nd:YAG y nueve diodos de bombeo, con él se ensayaron distintos tipos de cavidad láser con Q- switch  activo y pasivo. Por otra parte, con el fin de implementar lo que se conoce como “escritura directa” acoplamos la radiación del láser a un  sistema de posicionamiento con control por motores por pasos en los ejes x,y, z . Con este sistema, acoplado al láser, se realizaron los experimentos de ablación sobre diversos materiales, variando los parámetros del láser. Se obtuvieron los primeros resultados satisfactorios al lograr ablación controlada sobre una oblea de silicio con recubrimiento de resina con miras al diseño de microcircuitos. Se realizaron diversos ensayos para optimizar los parámetros del láser y de los posicionadores.