INFINA (EX INFIP) 05545
INSTITUTO DE FISICA INTERDISCIPLINARIA Y APLICADA
Unidad Ejecutora - UE
congresos y reuniones científicas
Título:
Películas nanoestructuradas de Cobre y de Titanio crecidas con arcos catódicos
Autor/es:
L. GIULIANI; F. BERMEO; D. G. LAMAS; D. GRONDONA; H. KELLY; A. MÁRQUEZ
Lugar:
Cartagena de Indias, Colombia
Reunión:
Congreso; X IBEROMET; 2008
Resumen:
En el trabajo se presenta la caracterización de películas delgadas de titanio y cobre obtenidas con dos arcos catódicos, uno pulsado y otro continuo La estructura, morfología y adhesión de los recubrimientos fueron estudiadas empleando distintas condiciones de temperatura y polarización de los sustratos durante el proceso de deposición. Se han obtenido películas con granos columnares nanométricos de 10 nm y con espesores desde 10 nm hasta 500nm.
