ESTUDIO DE LA TRANSFORMACIÓN DE FASE DE PELÍCULAS DELGADAS DE DIÓXIDO DE TITANIO CRECIDAS CON UN ARCO CATÓDICO

L. FRANCO ARIAS; E. HEREDIA; A. KLEIMAN; A. MÁRQUEZ

Santa Fe

Congreso; VIII Reunion Anual de la Sociedad Argentina de Cristalografía; 2012

El dióxido de titanio exhibe tres formas cristalinas: rutilo, anatasa y brokita. Películas amorfas de TiO2 cristalizan en la fase metaestable anatasa con un tratamiento térmico a temperaturas superiores a 400 ºC. Cuando la temperatura es cercana a los 800 ºC el dióxido de titanio se transforma a su fase estable rutilo. La técnica de deposición por arco catódico es un proceso eficiente para producir films en fase anatasa. En este trabajo se estudia la transformación de fase anatasa a rutilo de los films depositadoso como función de la temperatura y del voltaje de polarización del sustrato ya que el voltaje de polarización promueve la transformación de fase sin calentamiento auxiliar. La descarga arco empleada es generada entre un cátodo de titanio en una cámara de vacío que actúa como ánodo con una corriente de 130 A. El sistema opera en una atmósfera de oxígeno con un flujo de gas continuo de 65 sccm y una presión de trabajo en el rango de 2-5 Pa. Se utilizaron sustratos de vidrio y acero que fueron colocados a 30 cm de la superficie del cátodo sobre un horno, en cual la temperatura fue variada entre 350 ºC a 700 ºC. En las muestras acero sin calentamiento, se varió el voltaje de polarización entre -60 V y -120V. La estructura cristalina de los fil rayos x con ángulo rasante de 1º.