PELICULAS NANO-ESTRUCTURADAS DE NIQUEL OBTENIDAS CON UN ARCO CATODICO PULSADO

L. GIULIANI; A. KLEIMAN; D. GRONDONA; A. MÁRQUEZ; D. G. LAMAS

Viña del Mar

Congreso; IBEROMET XI, X CONAMET/SAM; 2010

En este trabajo se obtuvieron y caracterizaron recubrimientos de níquel nano-estructurados. Los recubrimientosse obtuvieron por medio de una descarga arco pulsada en vacío de 400 A de corriente y 35 ms de duraciónutilizando un cátodo de níquel. El plasma generado en la descarga fue guiado hasta la posición del sustrato através de un tubo recto, mediante la aplicación de un campo magnético axial de 300 G. Los recubrimientos sedepositaron realizando dos descargas consecutivas sobre sustratos de Si [100] dopados con boro de 1cm2. Lamorfología de las películas fue estudiada por microscopía de fuerza atómica (AFM), la estructura de las mismasfue analizada por difracción de rayos X (XRD), y la densidad y el espesor fueron determinados empleandoreflectometría de rayos x (XRR).En los estudios de XRD se observaron claramente los picos correspondientes a Ni puro, mientras que no sedetectó la presencia de ningún compuesto. Las imágenes de AFM mostraron una superficie nano-estructuradaformada por granos columnares con una rugosidad (RMS) de 0,1 nm. A partir de las mediciones de XRR sobreuno de los films se determinó la densidad en (7,6 ± 0,4) g/cm3 y el espesor en (36,0 ± 0,2) nm.