Caracterización Superficial de Sistemas de Interés Nanotecnológico

G RUANO

Editorial Academica española

Año: 2012 p. 148

9783659012600

Un estudio mediante tcnicas de anlisis de superficies dos sistemas de inters nanotecnolgico: Pelculas ultradelgadas de Fluoruro de aluminio y Silicio nanoporoso. El primero es un aislador, tecnolgicamente til como resina electrolitogrfica, que permite la fabricacin de pelculas de espesor nanomtrico. Durante los procedimientos usuales de fabricacin de dispositivos "top-down" el bombardeo inico y electrnico que se utiliza para producir patrones, puede afectar la resina debido a la produccin de electrones secundarios. Por otra parte el silicio nanoporoso es un material compuesto de nanohilos de Silicio. Los interesantes fenmenos de confinamiento cuntico que en el se observan lo convierten en una promesa en el campo de la optoelectronica. Ademas su integracion en componentes micro y nanoelectronicos mediante el paradigma "bottom-up" de fabricacin motiva el estudio de sus popiedades de emision fotnica y electrnica