INVESTIGADORES
SILVEYRA Josefina Maria
congresos y reuniones científicas
Título:
Baffle o trampa para sistema de alto vacÃo
Autor/es:
SILVEYRA JOSEFINA M; CONDE GARRIDO JUAN MANUEL
Lugar:
San Isidro
Reunión:
Exposición; 14º CONCURSO NACIONAL DE INNOVACIONES - INNOVAR 2018; 2018
Institución organizadora:
Ministerio de Educación, Cultura, Ciencia y TecnologÃa
Resumen:
Desarrollo de trampa o baffle de bajo costo, destinado a atrapar contaminantes en sistemas de vacÃo, previniendo el flujo de estos entre la cámara de proceso y las bombas de vacÃo. Aplicable a sistemas de deposición de pelÃculas delgadas por ablación láser.
