Estudio de películas de Al2O3 y TiO2 para aplicación en capas antirreflectantes de celdas solares de Si monocristalino

S. SAINT ANDRÉ; D. RODRÍGUEZ; P. PERILLO; M. BARRERA

San Martin

Congreso; XIV Taller de Óptica y Fotónica; 2018

INTI - UNSAM

Una forma de aumentar la eciencia de celdas solares es disminuir lareectividad de la cara frontal mediante una capa antirreectante (AR),cuyas propiedades se basan en el fenomeno optico de interferencia. Paraello pueden depositarse pelculas dielectricas, como por ejemplo de TiO2,Al2O3 con ndices de refraccion y espesores optimizados.Para este trabajo se depositaron pelculas de Al2O3 y bicapas de Al2O3y TiO2 sobre silicio, que es un sustrato de interes en dispositivos fotovoltaicos.Las pelculas de Al2O3 se depositaron mediante dos metodos: apartir de granulos de alumina va ca~non de electrones, y mediante evaporacion 30 nm de Al seguida de un anodizado electroqumico a 28 Vdurante 300 segundos. En el caso de las bicapas, para la elaboracion dela pelcula de TiO2 se evaporaron 30 nm de Ti sobre muestras con Al2O3previamente depositado. Posteriormente se realizo un anodizado electroqumico a 20 V durante 250 segundos, y nalmente un recocido termico a350 oC durante 2 horas.Las propiedades opticas se estudiaron mediante la medicion de la re-ectividad optica espectral y la medicion del ndice de refraccion medianteelipsometra. La morfologa de las pelculas se estudio mediante microscopa electronica de barrido y rayos X. Por otra parte se optimizo numericamenteel espesor de la bicapa TiO2 􀀀 Al2O3 considerando su aplicacionen dispositivos fotovoltaicos.