Estudio y origen del partículado en películas delgadas de AgGeSe depositadas por PLD

JOEL BOBADILLA; JUAN MANUEL CONDE GARRIDO; JOSEFINA MARÍA SILVEYRA

Ciudad de La Plata

Encuentro; 102° Reunión Anual de la Asociación de Física Argentina; 2017

Facultad de Ciencias Exactas y Naturales, Universidad Nacional de La Plata

Los vidrios calcogenuros dopados con plata presentan propiedades interesantes para múltiples aplicaciones, como por ejemplo, sensores iónicos y memorias de estado sólido. El desarrollo de dispositivos cada vez más compactos ha aumentado la demanda de estos materiales en forma de películas delgadas. La deposición por ablación láser (PLD, pulsed laser deposition) es una técnica de fabricación de películas delgadas, que permite la transferencia estequiométrica de masa desde el blanco hasta el sustrato y que logra una buena adherencia sustrato- película. El límite principal para la aplicación de PLD en la micro y nano- fabricación es la presencia de particulado en la superficie (y/o dentro) de las películas. Pero la naturaleza de este fenómeno y, por lo tanto las estrategias para controlarlo, no están claros al día de hoy. En el presente trabajo se estudió la dependencia de este particulado con los distintos parámetros de PLD, obteniéndose importantes conclusiones acerca de su origen.