Estudio de parámetros en la síntesis de películas delgadas del sistema AgGeSe por PLD

JOEL BOBADILLA; JUAN MANUEL CONDE GARRIDO; JOSEFINA MARÍA SILVEYRA

San Miguel del Túcuman

Encuentro; 101° Reunión Anual de la Asociación de Física Argentina; 2016

Facultad de Ciencias Exactas y Tecnología, Universidad Nacional de Túcuman

h1 { margin-left: 0.21cm; margin-top: 0cm; margin-bottom: 0cm; direction: ltr; color: rgb(0, 0, 0); page-break-after: auto; }h1.western { font-family: "Arial",sans-serif; font-size: 12pt; }h1.cjk { font-family: "Arial",sans-serif; font-size: 12pt; }h1.ctl { font-family: "Arial",sans-serif; font-size: 12pt; }p { margin-left: 1.45cm; text-indent: -0.64cm; margin-bottom: 0cm; direction: ltr; color: rgb(0, 0, 0); }p.western { font-family: "Arial",sans-serif; font-size: 10pt; }p.cjk { font-family: "Arial",sans-serif; font-size: 10pt; }p.ctl { font-family: "Arial",sans-serif; font-size: 10pt; }a:link { color: rgb(0, 0, 255); }Eltrabajo consistió en optimizar la calidad de películas delgadas devidrios calcogenuros,correspondientesal sistema AgGeSe obtenidas por PLD.Seprepararon blancos amorfos, de composición en porcentaje atómicoAgx(Ge0,25Se0,75)100-xcon x = 0 y 25, y sustratos de Si/SiO2.Las deposiciones mediante PLD se realizaron variando distintosparámetros. A través deltratamiento de las imágenes de estas películas obtenidas por SEM,se estudió el tamaño y la densidad del particulado micrométricopresente en ellas,en función del tiempo de deposición, la distancia blanco-sustrato yla fluencia. Se obtuvieron resultados distintos de acuerdo a lacomposición de los blancos. A partir de la observación por SEM delos blancos ablacionados, se llegó a la conclusión de que estadiferencia en los resultados se debe a la manera distinta en la queson ablacionados los blancos de las dos composiciones estudiadas.Finalmente, se desarrolló un procedimiento, que a la luz de losresultados obtenidos, permitirá la obtención de películas conmenor presencia de particulado y por ende de mayor calidad.