Estudio del particulado en películas delgadas obtenidas por PLD en función del tiempo de deposición

JOEL BOBADILLA; JUAN MANUEL CONDE GARRIDO; JOSEFINA MARÍA SILVEYRA

Ciudad Autónoma de Buenos Aires

Conferencia; XVI Encuentro de Superficies y Materiales Nanoestructurados; 2016

Facultad de Ciencias Exactas y Naturales, Universidad de Buenos Aires

La deposición de películas delgadas por ablación láser (PLD, pulsed laser deposition) es una técnica que debido a su simplicidad ofrece una gran versatilidad experimental. La transferencia estequiometria de las especies hacia el sustrato permite la fabricación de películas delgadas homogéneas de composición compleja, cuyas propiedades físicas resultan, en muchos casos, superiores a las obtenidas por otras técnicas de deposición. Sin embargo, la generación de particulado micrométrico sobre la superficie de las películas, constituye su principal limitación, pues restringe la aplicación de las mismas en microdispositivos. En este trabajo, se depositaron películas delgadas de GeSe3 y Ag25(GeSe3 ) 75, haciendo hincapié en la dependencia del particulado con el tiempo de deposición. La caracterización se realizó mediante microscopia de barrido electrónico (SEM).