Evaluación de la re-deposición de material durante la preparación de muestras delgadas por FIB

LAURA BAQUÉ; HORACIO TROIANI; ANJA SCHREIBER; ADRIANA SERQUIS; ANALÍA SOLDATI

S. C. de Bariloche

Congreso; 4to Congreso Argentino de Microscopía SAMIC 2016; 2016

Sociedad Argentina de Microscopía

El objetivo de este trabajo es la evaluación de la re-deposición de material ocurrido durante la preparación de muestras de TEM por la técnica de FIB/lift-out [3]. Se prepararon polvos de La0.6Sr0.4Co0.2Fe0.8O3-d (LSCFO) por el método de reacción de estado sólido y se depositaron como cátodo sobre un electrolito denso de Ce0.9Gd0.1O2-d (CGO) por la técnica de spin-coating. La microestructura de los cátodos obtenidos se caracterizó en un microscopio electrónico de barrido SEM Philips 515 con filamento de W. Además, se prepararon muestras de TEM de sitios específicos del cátodo usando un haz de iones de Ga en un equipo FEI-FIB200 con un voltaje de aceleración de 30 kV. De esta manera, se obtuvieron muestras de ~15 µm x ~5 µm x ~200 nm, las cuales fueron extraídas con un micromanipulador por el método de lift-out y depositadas en una grilla de TEM. Las muestras obtenidas fueron caracterizadas con un microscopio electrónico de transmisión TEM Philips CM 200UT equipado con un filamento de LaB6 y operado a 200 keV. La composición en distintos puntos de la muestras fue determinada con un sistema de EDS (EDAX) acoplado al TEM.