CENTRO DE MICROSCOPÍAS AVANZADAS: DIFERENTES TÉCNICAS ABORDADAS CON EL SEM

MARÍA CLAUDIA MARCHI; SILVIO LUDUEÑA; LÍA I. PIETRASANTA

San Carlos de Bariloche

Workshop; X Encuentro CNEA: Superficies y Materiales Nanoestructurados 2010; 2010

Comisión Nacional de Energía Atómica

<!-- /* Style Definitions */ p.MsoNormal, li.MsoNormal, div.MsoNormal {mso-style-parent:""; margin:0cm; margin-bottom:.0001pt; mso-pagination:widow-orphan; font-size:12.0pt; font-family:"Times New Roman"; mso-fareast-font-family:"Times New Roman"; mso-ansi-language:EN-US; mso-fareast-language:EN-US;} @page Section1 {size:612.0pt 792.0pt; margin:70.85pt 3.0cm 70.85pt 3.0cm; mso-header-margin:36.0pt; mso-footer-margin:36.0pt; mso-paper-source:0;} div.Section1 {page:Section1;} --> En este trabajo se presentan las diferentes técnicas que son desarrolladas a partir del microscopio electrónico de barrido Zeiss Supra 40, adquirido durante el último año. Se muestra cómo la performance del equipo es optimizada con la instalación de un sistema de cancelación de campo magnético y de aislación activa a la vibración. La configuración de este SEM lo hace único en el país dado que además de la caracterización morfológica de la muestra es posible realizar el análisis elemental y/o cristalográfico de la misma mediante los detectores de Energy Dispersive Spectroscopy (EDS) y Electron Backscattered Diffraction (EBSD). Otra de las técnicas disponibles es la escritura de patrones de tamaño nanométrico empleando el haz de electrones como lápiz, se presentan patrones escritos empleando polímero o tioles como sustrato sensible al haz.